
Application du carbure de bore au polissage des plaquettes
Application du carbure de bore au polissage des plaquettes Avantages du carbure de bore (B₄C) pour le polissage des plaquettes semi-conductrices Avec une dureté ultra-élevée (dureté Mohs : 9,3 à 9,5), une forte stabilité chimique, une résistance aux acides et aux alcalis, des arêtes de grain nettes et une efficacité d’enlèvement de matière élevée, la


